반도체 개론과 공정
변인수.김동선 지음 / 동일출판사 / 2015년 8월
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다이오드에 사용되고 있는 것은 P타입, N타입이라 하는 전자소자 타입은 반도체 공정으로 만든 불순물 반도체이다. 불순물 반도체는 순수한 반도체와 다르게 물질에 특정한 불순물을 첨가하여 만든 반도체를 말한다. 순수한 반도체는 재료의 순도가 99.99999 ~ 99.999999999%로 정제한 5N ~ 9N 반도체를 말한다. 순수한 반도체로는 실리콘이나 게르마늄이 많이 사용되고 있다. 고순도로 정제된 실리콘 결정은 원자들이 결합하여 대칭적인 패턴으로 배열되는데 이를 공유결합이라 한다.(p37)

대기압 CVD + 저온 CVD는 대기압 CVD 방식에서 반응로가 저온 (low temperature)으로 증착하는 반응로 구조이다... 수평관형은 석영관이 수평형으로 되어 있고 혼합된 반응 기체 가스가 가열된 실리콘 웨이퍼 표면을 지나가면서 증착되는 원리이다... 회전 수직관형은 석영관이 수직으로 되어 있고 실리콘 웨이퍼가 가열 저항체 위에서 회전하는 판(plate) 위에 놓여 있으며 반응 기체 가스는 위와 측면을 통해 유입된다.(p160)

감광액(photoresist) : 자외선 광에 민감한 물질인 감광액을 실리콘 웨이퍼 표면에 고르게 도포시켜 형상을 만들어내는 공정이며 액체 형태의 감광 물질로 실리콘 웨이퍼에 얇게 도포한 후 경화시켜 단단하게 만들어 자외선 광을 노광하여 패턴을 만들게 하는 감광액이다.(p191)

노광(Exposure) : 마스크에 있는 회로 패턴에 자외선 광을 통과시켜 감광액막이 형성된 실리콘 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 노광시키는 공정으로 일반적으로 광은 300 ~ 600 nm의 파장을 갖는 자외선을 사용한다.(p191)

식각 (Etch) : 식각(etch) 은 회로 패턴을 구현하기 위하여 화학물질이나 반응성 가스를 사용하여 필요없는 부분을 선택적으로 제거시키는 공정이다.(p192)

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2019-08-14 09:43   URL
비밀 댓글입니다.

2019-08-14 12:54   URL
비밀 댓글입니다.

AgalmA 2019-08-14 11:13   좋아요 1 | 댓글달기 | URL
호기심이 반도체 연구 수준이십니다-,,-) 일본과의 무역 전쟁으로 취약 산업 내수화 한다고 난리던데 반도체 부분에서 뭐가 필요한가 알아보실라고용-ㅁ-)?

겨울호랑이 2019-08-14 12:58   좋아요 1 | URL
세상이 어떻게 돌아가는지 눈이 돌아가 또 딴길로 샜습니다.ㅋ 관련 내용을 찾아보니, 반도체 제조 공정 중 감광액, 노광, 식각 과정이 초반에 이루어지는 작업임을 확인하게 되네요. 저도 전문 분야가 아니라 자세히는 알지 못했지만, 이제는 뉴스에서 관련 사진이 나오면 어떤 공정이구나 하는 감은 잡게 되었습니다. ^^:)

황금모자 2019-08-23 18:39   좋아요 1 | 댓글달기 | URL
반도체 전공자인 제가 첨언하자면, 몇몇 정보는 옛날 방식이지만, 포토리소그래피 공정 부분만 이해해도 현재 무슨 일이 벌어지고 있는지 많이 알아갈 수 있겠네요..

겨울호랑이 2019-08-23 18:49   좋아요 0 | URL
^^:) 황금모자님께서 반도체를 전공하셨군요. 읽으시는 책을 보고 인문계열이라 생각했는데, 제 예상이 빗나갔네요. 저는 공학쪽은 거의 문외한이라 반도체 관련 책을 이번에 처음 읽어 생소한 용어가 많아 어려웠습니다. 그래도 7월 내내 이야기가 나왔던 반도체 관련 용어가 설명되어 있어 나름 의미있는 독서였습니다.

황금모자 2019-08-23 23:32   좋아요 1 | 댓글달기 | URL
네, 사실 대학교에서는 재료공학이랑 국문과 복수전공으로 둘 다 공부했구요. 대학원은 반도체 쪽입니다. 반도체 공정의 틀을 아셨으면, 이게 왜 현대 산업에서 중요한지 알아가는 것도 재미일텐데... 이종필의 <물리학 클래식>에 있는 트랜지스터 내용을 읽어보시는 걸 추천드립니다.

겨울호랑이 2019-08-24 07:30   좋아요 1 | URL
그러시군요.. 대학에서 서로 다른 분야의 전공 경험이 황금모자님의 독서이력에 묻어나는 듯 합니다. 좋은 책 추천에 감사드립니다. 행복한 주말 되세요!^^:)